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1、概略
半导体制造行业作为用水大户，每日耗水以千吨计。随着国内环保请求，工厂每日耗水量有所请求，因此必需对排放的废水停止回收。
MBR膜生物反响器是膜别离技术和生物降解技术的分离，它可替代传统净水单元的二沉池，是一种高效的净水处置技术。膜别离反响器的分类方式有很多种，其中，浸没式膜生物反响器的运转能耗较低、管理便当灵敏，因而被普遍用于生活和工业废水处理工艺中。
MBR作为一种新型的净水工艺，与传统的活性污泥法相比具有如下特性[2]：
a.固液别离效率高，净水效果好，耐冲击负荷才能强。
由于膜的高效截留作用，MBR工艺可有效截留水中的悬浮物、细菌、大分子有机物等。微生物在生物反响器内不时积聚，系统内微生物浓度可达活性污泥法的5~10倍，降低了污泥负荷，进步了容积负荷，使得难降解有机物能够得到更好的去除，并且具有一定的抗冲击负荷才能。
b.污泥泥龄长，污泥产量少。
膜的别离作用可使微生物完整截留在生物反响器内，完成水力停留时间和固体停留时间的完整别离。反响器内泥龄长，排泥量少，不只减少了污泥处置费用，而且使得一些增殖迟缓的细菌如硝化菌及难降解有机物合成菌得到很好的生长，进步了净水效果。
c.设备紧凑，占空中积小，自动化水平高，操作管理便利。
MBR也存在一些缺陷：
a.膜污染。
膜污染直接造成膜通量降落，操作本钱增加。目前，膜污染问题是限制膜技术大范围应用的关键问题之一，如何缓解膜污染成为当前膜技术研讨范畴的一个研讨热点。
b.膜的消费及运转本钱高。
由于较高的消费和运转本钱，膜技术的大范围应用得到了很大的限制[3]。
针对半导体废水的特殊性、多样性。我们针对其排放的DWWA(普通酸浆废水)、DOWW(普通有机废水)停止回收，并设计相应的MBR处置系统。
2、工程设计
2.1 水质情况及设备参数
选用上海某大型半导体制造公司车间排放液，废水总量为3090m3/d，水质情况见表1。
2.2 工艺流程
DWWA/DOWW废水进入原水调整池，经调解PH调整池调理后，进入曝气池停止生物处置，然后经MBR膜停止固水别离后进入连续活性炭塔，深度去除TOC后，再经过重力式过滤器除去颗粒物，最后经过RO去除水中剩余离子，最后回收至纯水系统。
2.3 主要处置构筑物和控制程序
原水调整池、pH调整池、曝气池及MBR池、过滤器水槽采用RC+FRP材质，连续活性炭、重力过滤器采用CS/RL材质，重力过滤器采用CS/TEP材质。
MBR槽内设9组MBR膜，选用三菱，为PVDF材质，孔径为0.4um。
MBR膜参数如表2：
主要控制仪表：
ORP主要用于检测废水中氧化性物质，避免大量氧化性物质进入系统，对细菌形成不可逆的损伤；PH计主要用于监控水中PH值并控制NaOH投加量；MLSS用于监控水中污泥浓度；TOC/Turb(浊度计)用于监控MBR产水水质情况；DO用于监控水中溶解氧浓度；负压表用于监控MBR产水泵的吸入口压力。
3、MBR膜运转
3.1 MBR运转状况
经过两年的连续运转，控制系统进水PH在9.3左右，控制MBR污泥浓度在5000mg/L左右，DO在2mg/L左右，MBR产水泵负压在-20kpa~-25kpa，MBR产水TOC稳定在5mg/L以下，均匀去除率到达95%以上，MBR产水PH在4.5左右，Turb在0.1mg/L以下。
MBR运转条件控制：
a.由于半导体行业排放的DWWA、DOWW废水营养缺乏，难以维持高浓度的MLSS，故实践运转中控制在5000mg/L左右
b.由于MBR膜易受无机金属垢梗塞，故降低系统运转PH值，控制在4.5左右，既能够降低系统NaOH投加量以降低运转本钱，又能够预防MBR膜梗塞，降低MBR膜清洗频率。在两年的运转中，仅停止柠檬酸清洗1次。
c.MBR膜产水泵吸入口负压控制在-20kpa~-25kpa，实践运转中每月停止一次NaClO清洗，此时负压在-25kpa左右。清洗浓度为3000ppm。
d.MBR膜运转形式：吸7min停1min，依据负压增长趋向可做调理。
e.由于曝气管长时间运用，变干的污泥会梗塞曝气孔，因而要停止定期清洗。清洗方式如下：中止MBR产水泵及曝气风机，翻开管路气馁阀，曝气管内流入池水并关闭气馁阀，再翻开曝气风机和产水泵。普通每1~6小时清洗一次。
3.2 MBR出水水质
MBR产水TOC在3.5mg/L左右，Tubr浓度小于0.1mg/L系统产水TOC小于0.1mg/L，电导率小于100us/cm，PH在4.5左右，SiO2小于0.1mg/L。
4、主要技术经济指标
此系统在旧有系统的根底上停止改造，投入本钱约20,000K，运转本钱约3.8RMB/m3。
